گرمایش راکتور mocvd با القایی
راکتورهای رسوب بخار شیمیایی متالورگانیک گرمایش القایی (MOCVD) یک فناوری با هدف بهبود راندمان گرمایش و کاهش اتصال مغناطیسی مضر با ورودی گاز است. راکتورهای معمولی گرمایش القایی MOCVD اغلب دارای سیم پیچ القایی در خارج از محفظه هستند که می تواند منجر به گرمایش کمتر کارآمد و تداخل مغناطیسی بالقوه با سیستم انتقال گاز شود. اخیر … ادامه مطلب